微纳加工平台是高端集成电路芯片与器件的研发的基础支撑条件。目前的粤港澳大湾区尤其是深圳缺少世界一流的微纳加工平台，难以支撑建设世界一流微电子学院的需要。港科大多年前建有大湾区地区最好的nanosystem fabrication facility（NFF），具备平台设计、运维、管理等方面的经验与人才，可为深港微电子学院建设世界一流微纳平台提供重要协助，在平台管理方面达到世界水平。

该平台将包括：微纳工艺洁净间、工程测试、失效分析、电子封装

目标培养微电子产业的创业人才和企业的领军人才，目标建设成为世界一流产学研转化平台。

南方科技大学深港微电子学院—Arm中国 先进芯片设计联合实验室

学院与ARM公司联合共建“先进芯片设计联合实验室”及“南方科技大学深港微电子学院实训基地”，ARM将赞助软硬件资源合计154.2万美金。